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Optische Wegmessung auf spiegelnden Flächen

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Eine modifizierte Modellvariante des Wegmeßsystems optoNCDT 2000 von Micro-Epsilon wurde auf spiegelnde Meßobjektflächen angepaßt. Dazu wird der Sensor schräg zum Meßobjekt montiert. Der reflektierte Laserstrahl trifft damit direkt in die Empfangsoptik und bewegt sich auf der CCD-Zeile proportional zum Abstand. Das Modell ILD2000-5.06 liefert bei einem Meßbereich von 4,0 mm eine Auflösung von 0,25 µm und eine Linearität von ±1 µm. Die Meßfrequenz beträgt 10 kHz.

E mav 276
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