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Eigenschaften von PVD und CVD vereint

P3e-Technologie für harte Metall-Oxidschichten
Eigenschaften von PVD und CVD vereint

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Bei der P3e-Technologie von Oerlikon Balzers Coating handelt es sich um ein neues PVD-Verfahren, bei dem Elektronenemission und Plasmadichte durch einen kontrollierten Pulsstrom gezielt beeinflusst werden. Ein erstes wichtiges Anwendungsgebiet für diese Technologie ist das Beschichten von Wendeschneidplatten für Fräs- und Drehoperationen. Die typischen Vorteile der PVD-Beschichtung, nämlich schärfere Schneidkanten, kein Verspröden der Substrate im Beschichtungsprozess und stark verringertes Risiko der Kammrissbildung können in einem Verfahrensschritt mit den Vorteilen der CVD-Schicht kombiniert werden. Fertigungstechnisch lässt sich diese Beschichtungstechnologie beispielsweise mit der neuen Beschichtungsanlage „Innova“ umsetzen. Mittels einer spezifizierten Ätztechnologie, gepulster Beschichtungsverfahren und höherer Prozessdrücke lassen sich mit dieser Anlagentechnik neue Nitridschichten erzeugen, während mittels der P3e-Technologie hochwertige Metall-Oxidschichten produziert werden können. Dank ihrer modularen Konzeption bietet diese Technik Möglichkeiten, stärker auf individuelle Erfordernisse und zukünftige Entwicklungen einzugehen.

Oerlikon Balzers Coating GmbH Tel. 06721/7930, Fax 06721/2374 www.oerlikon.com
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