Allgemein

DC-Mini-Servo-Antriebein der Halbleiterfertigung

3-D-Darstellung des RH-Miniservos
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Die Fa. SEZ AG in Villach, Österreich setzt bei der Oberflächenbehandlung von Silizium-Wafern auf hochpräzise Servo-Antriebe von Harmonic Drive.

Bei der Herstellung von Halbleitern werden auf den Wafern in wechselnder Reihenfolge und mehrfach nacheinander Schichten von Oxid, Nitrid, Polysilizium und Metall aufgebracht. Im Laufe des Herstellungsprozesses werden diese wenige Nanometer dicken Schichten von der Vorderseite bereichsweise (strukturierend) und von der Rückseite vollständig weggeätzt. Dabei wird die so genannte Spin-Edge-Technologie (Rotationsätzverfahren) eingesetzt. Die sonst notwendigen Vor- und Nachbearbeitungsschritte zum Schutze der gegenüberliegenden, nicht zu bearbeitenden, Seite entfallen.

In den unterschiedlichsten Anlagen werden DC-Servo-Antriebe des Typs RH-11 und RH-14 von Harmonic Drive eingesetzt: Die Antriebe dienen zum einen als Antrieb für den Medienschwenkarm der für die Zuführung von Reinigungs- bzw. Ätzmedien dient, zum anderen in der Be- und Endladeeinrichtung als Dreh- und Schwenkachse für das Handling der zu bearbeitenden Silizium-Wafer.
Vorteile der eingesetzten Servo-Antriebe
Der verwendete Servo-Antrieb bietet für diesen Einsatzfall besondere Vorteile wie z. B. kompakten und leichten Aufbau, Spielfreiheit in der Verzahnung, exzellente Wiederholgenauigkeit zur exakten Mess-werterfassung sowie hohe Zuverlässigkeit und Produktreifegrad.
Neben den Eigenschaften, die in dem beschriebenen Anwendungsfall zum Tragen kommen, bieten die RH-Servo-Antriebe weitere Features für verschiedenste andere Anwendungen. Dazu sind diese Antriebe in verschiedenen Baugrößen verfügbar. Diese reichen von 0,6 Nm bei 110 U/min, Außendurchmesser 20 mm, Baulänge 90 mm, bis zu 20 Nm bei 50 U/min, Außendurchmesser 50 mm, Baulänge 176 mm.
Bereits etablierte Anwendung sind: Planetenbewegungen in Planetarien, Vielfältige Handlingseinrichtungen, Werkzeugvoreinstellgeräte, 3-D-Koordinatenmessmaschine, Handlingsgeräte u. a. im Halbleiterbereich, CD-ROM-Herstellung, Be- und Endladeeinrichtungen sowie Azimut- und Elevationsachsen.
Harmonic Drive AG
Tel. 06431/50080, Fax 06431/500518
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